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许黎也不觉得不满,他也能理解对方的心情。
“倪院士,不用着急,现在我带你们去看看吧!”
于是,许黎和陈所长便带着一帮专家领导去了极紫外光源放置的实验室。
一看到极紫外光源摆在最显眼的位置后,众专家们顿时就围了上去,拿着各种不知名的仪器测量,仿佛在不断打量着一个精美的艺术品,眼中仿佛有关在闪烁着。
“真是太令人惊讶了!”
“这设计的光学系统居然比我们之前预想的还要好!”
“还有这镜头,恐怕跟蔡思比起来也是毫不逊色了。”
“啧啧,我还以为我老花眼了,擦了擦几下自己眼睛,还换了其他品牌的测量仪器,结果显示出来的性能居然如此强大。”
专家们互相议论着。
倪院士看起来也是比较兴奋,但是没有面色潮红的那种夸张,想必其他人而言,他要澹定点。
“许校长,是否可以做一次测试?”
毕竟搞科研的可不能被这些所谓仪器数据迷惑,还需要进一步亲自测验看到实时结果,才能下判断。
否则,失之毫厘,差之千里。
那到时候闹出来的笑话可就大了。
“可以,我们已经准备好了,半个小时候开始。”
许黎同意了,他似乎也早有预料。
这次的极紫外光源测试,跟之前的也没打差别。
很快,电源启动,操作人员也开始操作。
一道激光从激光器射了出来,撞击在液态锡珠上使其变成粉饼状了。
因而产生更大的表面积,然后在许黎参与设计的光学系统的辅助下,得到了高热等离子,放射出明显的极紫外光来。
专家和现场的研究员们拿着小本本记录仪器上的数据。
而此时,倪院士也在认真观察,似乎发现了不一样的地方。
“许校长,你们这光学系统似乎设计得很是巧妙啊!还有这激光器使用的是低能量激光吧?”
许黎也是有些意外。
“是的,这套光学系统是我们独立设计的,经过我们独立设计的反射和折射,可以将低能量激光集束,并在其他靶材的加持下散发出极紫外光,所以在耗电量也只有euv极紫外光源的三分之一。”
读过物理的同学都知道,依照光谱排列,从红外到红、橙、黄、绿、青、蓝、紫到紫外,但人眼看不见紫外光,离紫更远一些的紫外叫极,但是属于紫外波段。
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不过极紫外光线需要通过通电激发紫外线管的k极然后放射出来,加上其特性,就需要耗费很大的电量。
不过许黎这套独立设计的极紫外光源系统里,激光器被他改动了一下,可以做到“省电”发射,就跟在这套光源系统里安了一个放大镜,将其能量集中起来。
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