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第463章 燧火待燃封疆台（第2页）

唯有纳米压印光刻技术、相干光刻技术、原子层沉积光刻技术、光子上转换光刻技术和基于化学的直接自组装（DSA）才能算的上是本世纪的新光刻技术。】

作为顶尖专家，林本坚迅速在脑海里进行了信息分类。

吴楚之对于林本坚瞬间的爆发性认同并不意外，他点了点头，继续沿着思路推进，

“诚如您刚才所分析的现状，我们目前最先进的光刻设备徐老前辈的JKG-3，其光源水平甚至都还停留在国际标准的‘第一代’汞灯光源，这是我们起点低下的铁证。

然而，杨老先生基于他的X射线光刻研究前瞻，进一步提出了一个极具开创性的光源理念——SSMB：稳态微聚束光源（Steady-StateMicrobunching）！”

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“SSMB？”

林本坚快速在记忆中检索，这个名词他似乎有些印象，但并不熟悉。

吴楚之眼中闪烁着兴奋的光芒，“对！这是一种基于粒子加速器原理的革命性光源！

它利用储存环里的电子束，通过特定的物理机制（如同步辐射、自由电子激光原理的基础结合），产生极其稳定、高亮度、而且波长极短、接近X射线波段的连续光束！

根据杨老及其合作者的理论推演，这种光源，在相干性、功率稳定性和波长范围上，拥有着巨大的潜力！”

吴楚之的话语像是一张宏伟蓝图的初稿徐徐展开。

然而，林本坚的专业本能反应却再次被强烈触动！

长期在“设备小型化、集成化”道路上狂奔的他，在听到“粒子加速器”、“储存环”这些词汇的刹那，脑海中瞬间浮现的是瑞士日内瓦那巨大的、深埋于地下的环形隧道——欧洲核子研究中心（CERN）的大型强子对撞机（LHC）！

那是以公里为单位计量的庞然大物！

“荒谬！”

一个强烈否定词脱口而出。他硬生生压下后面骂人的话，但脸上的表情已经充分暴露了他的极度不认同和质疑。

他调整了一下呼吸，尽量保持尊重，但语气已然变得尖锐而直接，带着资深工程师对天马行空构想的本能警惕，

“小吴总，请原谅我的冒昧。”

林本坚深吸一口气，镜片后的目光锐利如刀，试图切割开这看起来过于浪漫的技术泡泡，

“虽然我对高能粒子物理领域没有太深入的研究，但最基本的常识告诉我，SSMB这个思路理论上或许有其独到之处，但它……它根本脱离了工程实现的范畴！”

他的语气急促起来：“一个能产生满足波长极短、强度足够、稳定性要求近乎变态光刻要求的粒子加速器光源！

你知道这需要什么吗？

它需要的不仅仅是理论，更是一个极其庞大、结构复杂、需要超高真空、超导磁体、巨量能源支撑的、公里级别的环形粒子加速隧道！

请注意，那是公里级！甚至是百公里级！”

林本坚摊开双手，仿佛在比划一个无法想象的巨物，

“这样的东西，怎么可能塞进一家晶圆厂？

怎么可能与现有的光刻机平台整合？

这完全背离了光刻机作为一个集成化、小型化、高度自动化半导体制造设备的发展方向！

这纯粹是……是科学家在图纸上的狂欢！

是耗费巨资建造一座用来点蜡烛的宫殿！

是纯属天方夜谭！”

他用了一个极其强烈的词语，表达自己的决然不信。

面对林本坚这连珠炮般的质疑和几乎要拍案而起的激动，吴楚之的反应却出乎意料的平静。

他没有丝毫被冒犯的样子，反而像是一个设局者，终于等到了猎物主动踏入陷阱核心区域时的那份了然和从容。

他甚至无声地笑了笑，身体微微向后，以一种更放松的姿态靠在了沙发靠背上。

然后，他拿起一直放在林本坚面前的那本“追光计划”，屈起食指，轻轻敲击着封面。

“笃、笃、笃……”

声音不大，却像是小锤敲击在林本坚因为激动而紧绷的神经上。

吴楚之的眼神变得深邃而锐利，他的嘴角似乎噙着一丝早已洞悉一切的笑意，看着林本坚，一字一句地说道：