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第630章 全球只此三家一天9740万饵料要吃自研不能停（第1页）

5月31日下午，星源科技光学研发中心。

此时虽值假期，但负责照明系统攻坚任务的上百名研发工程师，却大多都在实验台前忙碌着。

“面形精度34皮米！”

“钼硅多层膜的表面粗糙度为46皮米！”

“光能利用率91%！”

“照明均匀性超过了98%！”

突然，测试组的一名年轻工程师大声喊道。

其他人闻声，不约而同地停下了手中工作。

“哈哈哈不积跬步，无以至千里；不积小流，无以成江海！林总，我没说错吧？这照明系统外国人能搞定，我们同样行！”

汪象朝眯起眼睛，仔细琢磨着这几组数据背后的意义。

这意味着华国半导体行业，首次掌握了完整的照明系统技术链。

一旦攻克投影物镜系统、掩膜版与掩膜台的核心技术，华国将拥有一套具备世界领先水平的反射式光学系统。

至此，距离自研EUV光刻机，已经差不多走完了三分之一的艰难路程。

这一切，还不是全靠。老板！

林南在心中暗暗思忖。

刘峰俊从庐州返回后，带回了一套工艺成熟的离子束抛光、磁流变抛光及磁控溅射技术方案。

与此同时，陈延森的科研天赋也在研发中心渐渐传开。

尽管起初大部分研究人员并不相信陈延森，但如今成果就摆在眼前，由不得他们不信。

更何况，还有刘峰俊这位当事人的佐证。

“汪工，技术文档咱们有了，但这制造任务该交给谁？是长春国科精密，还是沪城微电子装备？”

林南眉头微蹙，看向汪象朝问道。

“选沪城微电子吧，”汪象朝略一思索后说道：“他们的真空系统和抗污染技术，在国内是顶尖水平，能最大程度提升成像质量。”

汪象朝这辈子的精力都扑在了光学系统研发上，对华国超精密光学制造行业的情况极为熟悉。

林南点了点头，其实他心里也更倾向于沪城微电子。

当天晚上，一面镀上120层钼硅薄膜的非球面反射镜被送到了燕京。

华科协会的一众大佬倾巢而出，齐聚光电所的实验室。

有人站在一旁，神色复杂地望着这面直径高达0。6米的反射镜。

也有人迫不及待戴上无尘手套，小心翼翼地触碰了一下光滑的表面。

“现在全世界，能造出50皮米以下面形精度反射镜的公司只有三家，赛高、蔡司和星源。”

光电所的一名工程师轻声叹道。

他们苦熬了半辈子，连这项技术的大门都没迈进去，可一家民营企业却率先突破了难关。

有嫉妒，有欣慰，更有难以言说的自嘲，仿佛自己这辈子，都在空耗青春一般。

有人悄悄摘下眼镜，擦了擦眼角的湿润。

要知道，一面超高精度反射镜，单是造价就需几十万元，售价更是高得惊人，至少要300万美币。

一台EUV光刻机需要配备六面这样的反射镜，仅这一项成本就达1800万美币。

而一台EUV光刻机的售价在8000万到1。2亿美币之间，反射镜的成本占比约为15%到22。5%。

单从价格上，就能看出反射镜抛光与镀膜技术的重要性。