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通电之后的滴胶器,其滴胶模板将上面储存器的胶液吸入,通过电磁加速让带电胶液快速从上往下拉。
刹那间,一滴滴细微的纳米级胶滴,从模板下方滴落在硅片表面,这些胶滴很快就形成一个个滴点,而这些滴点彼此之间融合在一起,形成一道道纹路。
随即滴胶机断电,仅仅滴落一滴胶液,剩下的胶液被管道裹挟着,根本滴落不下去。
滴胶机离开硅片上方,紧接着光固化设备向硅片表面发射出特定的紫外线,对胶滴图案进行光固化。
叶瑾急不可耐地说道:“快,看看图案有没有问题。”
老刘摇了摇头:“叶博士别急呀!
多做几片,到时候一起送检。”
“好吧!”
不到半个小时,滴胶室内就连续生产了几十片滴胶硅片。
负责测试滴胶图案的研究小组,也将一批批滴胶硅片送去实验室的检测。
所有人都不由自主地沉默下来,他们都在等待结果。
时间一分一秒过去了。
大概过了两个小时。
“呼呼…”
一个研究员拿着一份报告跑过来。
所有人顿时齐刷刷盯着他。
“呼呼…好消息,滴胶图案没有出现缺陷,可以开始进行蚀刻、沉积等工艺的测试了。”
顿时空气为之一静。
紧接着便是震耳欲聋的呼呼声。
“噢噢噢…”
“我们成功了!”
“万岁!”
“哈哈哈,我就说成功率很高。”
“太好了,我们做到了!”
兴奋的呼呼声,几乎是震耳欲聋,大家都难以平静,在向周围的同事同行表达着内心的激动。
啪啪啪…十几分钟之后,年纪比较大的老刘拍了拍手掌:“我们迈出了走向成功的第一步,现在不是放松的时候,接下来大家加把劲,争取完成全套工艺的革新。”
“放心吧!
老刘,我现在浑身上下都充满了力量,比喝了一百罐红牛还精神。”
一个同样四十多岁的研究员红光满面说道。
老刘连忙提醒道:“别别别,虽然工作非常重要,但是我可不想大家积劳成疾,毕竟大家也不想失去上台领奖的机会吧?”
“知道,劳逸结合吗!
不过每天干十个小时应该问题不大,我以前在台积电的时候,可是经常通宵达旦。”
叶瑾此时也意气风发起来:“老刘说的对,大家庆功会上见!”
“庆功会上见!”
兴奋之后,所有人开始冷静下来。
很快他们利用实验室的设备,开始重复滴胶、蚀刻、沉积、研磨、清洗、离子注入。
第一批实验室生产的存储器芯片,在半个月后被生产出来。
之所以这么快,主要是因为滴胶工艺取代光刻工艺之后,整体速度提升了非常多。
而他们通过实验室生产的芯片,其设计模型来自于长江存储,因此只能生产存储器芯片。
不仅仅是存储器的外围逻辑单元,连内部的存储单元,也都一并采用了同一个制程,即10纳米制程。
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